等离子体源

1.MAXstream系列 用于腔体清洁的新一代远程等离子体源
       MAXstream 有适用 3、6、8、10 和 12 SLPM NF3 等多种气体流量的不同型号选择，与传统使用的系统相比，功率精度可提高多达 60%。为确保延长腔体寿命并减少颗粒产生量，AE 推出了经过验证、独具特色的等离子体源材料和技术。新产品MAXstream 的双等离子体源引燃核心采用更完善的设计，确保了等离子引燃时的稳定性。由于每次分开出击的引燃非常稳定可靠，令整个操作能保持其稳定性，减少停机情况的出现。MAXstream RPS 产品可以轻易插入现有的 RPS 系统之中，以确保可与现有系统无缝衔接，方便用户更新换代。五种型号：MAXstream 300 适合低流量应用，MAXstream 600、800、1000 和 1200 适用高流量应用。

2. Rapid OX 适用于氧气类过程的远程等离子体源
      由于 Rapid OX 采用可拆卸石英内衬，可减少复合效应，延长氧自由基的寿命。与阳极氧化真空腔相比，所产生的活性反应物质寿命更长，从而提高光刻胶拨出速率。此外，由于操作员可以轻松地安装或拆卸石英内衬，停机时间得以缩短，更换成本也显著降低。特别适合于光刻胶灰化/碳质真空腔清理。

3. Xstream 性能卓越的腔体清洁型高质量远程等离子体源
      Xstream 远程等离子体源 (RPS) 具有很长的设计使用寿命，性能超越竞争产品，是腔体清洁的理想之选。它采用专利点火方式和算法，以及专有铝合金硬质阳极氧化处理腔体。RPS 可对大量 NF 进行分解，3 对腔体进行快速清洁，提高机台的整体性能。其等离子体腔体采用高纯度铝合金制造，具有专利冷却能力。Xstream RPS 不采用昂贵的腔体涂层，具有长达多年的免维护设计使用寿命，是用于实现可靠性和高效性能的明智之选。Xstream 8 kW/10 kW 功率型号。